非接觸厚度電阻率測試儀操作說明

非接觸厚度電阻率測試儀型號：JXNRT1

一、測試原理

1、電阻率測試探頭原理

電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器，以及后續的處理電路組成。將半導體硅片置于兩個探頭的間隙中時，在電磁場的作用下，半導體硅片中會產生渦流效應，通過檢測渦流效應的大小，可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法，不損傷材料表面，可以在大多數場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。

2、厚度測試探頭原理

厚度探頭采用的是一對共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復性好，測試數值穩定，技術成熟等優點，廣泛用于各種材料厚度的測試。

二、范圍

本設備為非接觸無損測量設備，測試過程中對硅片表面以及內部不會造成損傷。特別于代替四探針法用于半導體硅片成品分選檢驗。一臺儀器可以同時對厚度和電阻率兩個指標進行測試分選，減少了測試工序和測試時間，提高了測試效率。

典型的客戶：科研單位、硅片生產廠商、半導體器件生產廠商、光伏企業、導電薄膜研發生產企業。

三、儀器構成

1、測試主機：1 臺

2、電源線：1 根

3、串口數據線：1 根

4、電腦端軟件：1 套

5、塑料定位柱：2 個

四、儀器外觀尺寸結構及圖片

1、整機尺寸：340*260*180mm

2、機箱顏色：電腦白

3、儀器結構：本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式。

五、儀器主要指標

1、電氣規格

a. 使用標準三插頭，由 220V 交流電供電，整機功耗小于 15 瓦。

b. 本儀器測試平臺和外殼均為金屬材料，按照安全規范，請確保電源地線正確連接。

2、測試范圍

測試樣品要求：厚度小于 600um 的半導體硅片以及其他類似材料。(為客戶提供特殊定制，厚度Z大的測試范圍可以擴展到 800um)

電阻率范圍： L 檔： 0.2-5 Ω·cm

H 檔： 5-50 Ω·cm

注： 電阻率不在上述量程范圍內的可以按要求調整， 調整的范圍可以在0.001-100Ω*cm。

厚度范圍： 100-600 um （定制版可以做到 300-800um） 注：普通版本厚度大于 700um 的硅片無法放入測試區域。